[...] odification des matériaux par le plasma, l'implantation, le recyclage et la perméation, les plaques à haut {Z}, le conditionnement et les dépôts de couches minces par {CVDÎ}, par torche à plasma et par évaporation sur {/}
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SUBLIMATION
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de cibles solides, et l'érosion par {/} redéposition.